上銀展出半導體產線智慧升級方案

日期： 2024/8/29

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傳動元件大廠上銀(2049)近日於自動化展，展出的晶圓移載系統EFEM，還可結合大銀的高精密奈米級平台(Stage)以+-2奈米的伺服穩定度，在晶圓封裝、檢測等關鍵製程為客戶提供整體解決方案